Чаккун пневматикӣ барои вакуум: асбоби дарозии "зир-микрон" барои сабт кардани чипҳои баромадаи кишварӣ
Саноати чипҳои дуна барои ҷозиҳои дуоми таълимоти пахш карда шудааст: мحدودияти пуштафшандани вафар (сабкӣ фаровиш 3nm ≈ 0.1mm) ва муаммои баробари натиҷа (чашмаки дефект надорад <0.01/см²). Роботони традицонии барои интихоб аз рӯи зиёдшудагии микростресс (губариши натиҷа бо зиёд аз 5%) ва натоаллоқи пуршавӣ (нормаи класс 1 бо зиёд аз 18% аз норма гузашт) мحدود мешаванд. Чаккуҳои пневматики вакуум бистарин ҷавобдодандагони киёми физикӣ мебошанд, барои сатҳҳои мувофиқ ба мащаби нано ва дисипатсияи статики онлайн. Базаре автоматизасии полупроводникӣ та 2025-ям сол ба $89.2 миллиард омил мешавад (ба эҳтироми пешбینии Gartner), ва нифтоси технологияи вакуум бо зиёд аз 70% баҳрочунӣ мешавад.
Тафсироти техникӣ дар چор сценариёи ядроӣ
- Трансфер вафар: вафарҳои кремниевӣ ултра-пушта без хараби тараф гирифта мешаванд.
Мушкикӣи саноат: Нар曦и шикастгӣ аз чипҳои 300мм дар хондани дастӣ >2% мебошад, ва микрочарбҳо зиёдтар аз $2.3 миллиард дар сол зиёд кардаанд (ҳисоботи SEMI 2025).
Таърифии кушодардои Асия:
▶ Системаи противу флуكتуацияҳои волтаж (мудати тағйирпазирӣ ±25%)
▶ Модулҳои тағйирпазирӣ тез (тагйир додани маҳсулот <45 секунд)
2. Инсталляцияи чип: позициони баромадаи зер-микрон
Революция дарёҳои техникӣ:
Недостатокҳои халқоти традиционали: сафои гузорандагии монтираж ±5μm, деформацияи ғармӣ ки кушад зурдсозӣ, даржамии азносии ESD 0.8%.
Ҳал кӯҳнаи чампурӣ : дарозии позиционии барои компенсатсияи назарӣ ±0.1μm, компенсатсияи температурӣ дар соат (ΔT<0.1℃) ба 0.05% кам шуд.
баррASIИ пахш: кармодардошти мобино дар мохитҳои чархи кор.
Арзиши навсоз:
Материал, устойчивийи к химикӣ корозия: Устойчив ба шаршоби хурдоза / тумани сурх (мудати истифода > 500,000 цикл).
Низоми барои мудоти температура: Дури дарахти дохил мебошад ба ±1μm дар муҳити лутф кардан аз 300℃.
Ҳалоки дунёи:
Чарағии 3nm TSMC: нори чароғӣ бе 99.95% оварда шуд.
Бутик ва имтехони Малайзи: Мудати бозгашт аз сарфи содди faқат 8 маҳ мебошад.
Баргшавӣ дар амал истифода:
Заннҳои ташкилотӣ 90% кам шуд.
Ҷойгирӣҳои пазмон 40% кам шуд.
Суръати номӯндаши 35% зиёд шуд.
Натиҷа та 99.98% зиёд шуд.
Баъд аз интихоби $120 миллион дар омӯрҳои зиёд аз ЕСД онвоншудааст.
