GESV--솔레노이드 밸브
재료
- 티타늄 합금 본체
- 세라믹 복합 밸브 코어
- 완전불소고무 씰
시행 기준
- ISO 6358
- SEMI F47
- ECSS-Q-ST-70-71
- ASME B46.1
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SOVE
고주파 솔레노이드 밸브는 양안정 영구자석 구동 기술을 통해 펄스 제어에서 초고속 반응을 보여줍니다. 그의 무전력 유지 특성은 100Hz 연속 스위칭 주파수를 달성할 뿐만 아니라, 디젤 주입 시스템, 레이저 냉각 회로 및 고속 분배 장비에서도 널리 사용되며, 특히 10MPa 유압 충격 하에서 ±0.2ms의 동작 시간 정확도를 유지합니다.
심우주 탐사기의 전기 추진 유체 미세 유량 제어, EUV 리소그래피 머신 웨이퍼 스테이지의 나노급 부유 제어, 그리고 유전자 시퀀서의 마이크로플루이딕 칩 다중 채널 압력 구동 등 최첨단 분야에서 핵심 제어 이점을 가지고 있으며, 밀리그램급 유량 조절에서 원자급 위치 정확도에 이르는 크로스-스케일 제어 능력을 달성합니다.
설명
- 0.5ms 응답 속도.
- 0.001MPa 초저압 시작.
- 적응형 압력 보상.
- TR=온도 저항
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